中微半导体设备上海股份有限公司持股一览

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1，拓荆科技[SH688072] 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金香港中央结算有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司[2] 国投(上海)创业投资管理有限公司－国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) 国家集成电路产业投资基金股份有限公司
2，先锋精科[SH688605] 深圳市创新投资集团有限公司长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) 中微半导体(上海)有限公司华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) 中微半导体设备(上海)股份有限公司[2] 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙)

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